電漿清洗機氫去除SiC表面污染物C和O

sic該材料是三代半導體材質(zhì),具有高臨界擊穿電場、高導熱性、高載流子飽和漂移速度等特點。它是**半導體功率器件的*方向,在高壓、高溫、高頻、抗輻射半導體器件低損耗的優(yōu)良性能,是**半導體功率器件的*。
但經(jīng)傳統(tǒng)濕法處理后的sic表面存在著殘留有c雜質(zhì)和表面容易被氧化等缺點,使得在sic上不容易形成優(yōu)良的歐姆接觸和低界面態(tài)的mos結構,這嚴重影響了功率器件的性能。電漿清洗機增強金屬**物,化學氣相沉積系統(tǒng)可以在低溫下產(chǎn)生低能離子和高電離度高濃度高活化高純氫等離子體,使得在低溫下除去c或oh-等雜質(zhì)離成為了可能。
由濕法清洗后和電漿清洗機處理后的rheed圖像,我們發(fā)現(xiàn)濕法處理sic表面呈點伏狀,這表明經(jīng)濕法處理的sic表面不平整,有局部的**。而經(jīng)過電漿清洗機處理后的rheed圖像成條紋狀,這表明表面非常平整。經(jīng)傳統(tǒng)濕法處理的sic表面存在的主要污染物為碳和氧。這些污染物在低溫條件下就可以與h原子發(fā)生反應,以ch、和h2o的形式從表面去除掉。經(jīng)過處理后表面的氧的含量比傳統(tǒng)濕法清洗的表面氧含量顯著降低。
我們知道表面存在雜質(zhì)c是制造半導體mos器件或者歐姆接觸的一大障礙,如果經(jīng)plasma清洗機等離子體處理后cls的高能尾巴消失,即cc-h污染消失,就會較容易制備高性能的歐姆接觸和mos器件。經(jīng)等離子體處理后cis的高能端尾巴消失,同時我們發(fā)現(xiàn)未經(jīng)等離子體處理的sic表面cls峰相對與等離子體后的cls遷移了0.4ev,這是由于表面存在c/c-h化合物造成的。
未經(jīng)過電漿清洗機處理的si-c/si-o譜峰強度之比(面積之比)為0.87。經(jīng)過處理的si-c/si-o的xps譜峰強度之比(面積之比)為0.21,與沒有經(jīng)等離子體處理的相比下降了75%。經(jīng)過濕法處理的表面si-o的含量明顯**經(jīng)過等離子體處理的表面。高能電子衍射(rheed分析發(fā)現(xiàn)等離子處理后的sic表面比傳統(tǒng)濕法處理的sic表面較加平整,而且處理后表面出現(xiàn)了(1x1)結構。
電漿清洗機氫處理可以有效除去表面的碳污染,暴露在空氣中30分鐘后,發(fā)現(xiàn)經(jīng)電漿清洗機處理的sic表面氧的含量能明顯**傳統(tǒng)濕法清洗的表面,經(jīng)等離子處理的表面抗氧化能力顯著提高,這就為制造歐姆接觸和低界面態(tài)的mos器件打下了良好的基礎。
深圳子柒科技有限公司專注于等離子表面處理機,全自動點膠機,等離子清洗機等

云南廠區(qū)地坪漆-添彩水性地坪漆多少錢-廠區(qū)地坪漆價格

武漢精密鈑金加工-睿意達鈑金(在線咨詢)-武漢鈑金加工

地鐵站的泰安迎金學校自動門

供應18%含量以上氧化錳洗爐錳礦

鞋墊式可穿戴步態(tài)分析系統(tǒng)

拼音學習卡廠家-德州學習卡廠家-馬在飛凸顯個性

售DSO7104B回收DSO7104B

糯米紙批發(fā)-糯米紙-鑫貝糯米紙廠家(查看)

花都人才綠卡福利

學習*培訓-學習*-蕪湖速刺青*店(查看)

主站蜘蛛池模板: 国产成人免费电影| 蜜柚直播在线播放| 色噜噜狠狠一区二区三区| 欧美精选欧美极品| 城中村找个白皙丰满妇女在线播放| 国产成人无码精品一区在线观看| 亚洲国产精品嫩草影院久久| 久久99国产精品视频| 3571色影院| 欧美激情xxxx| 小小的日本乱码在线观看免费| 国产日韩欧美自拍| 亚洲精品自在线拍| 中文字幕亚洲天堂| 精品视频在线看| 性xxxxhd高清| 国产主播一区二区三区| 亚洲成在人线中文字幕| 一区二区三区美女视频| 高清视频一区二区三区| 欧美成人精品第一区二区三区| 小蝌蚪视频网站| 催眠体验馆最新章节| 99精品国产高清一区二区麻豆 | 好湿好紧好痛a级是免费视频| 国产乱理伦片在线观看大陆| 亚洲人成在久久综合网站| WWW夜片内射视频日韩精品成人| 美妇与子伦亲小说| 小草视频免费观看| 人人妻人人澡人人爽欧美一区九九| 中文字幕人妻丝袜美腿乱| 精品国产午夜理论片不卡| 日本三级在线观看中文字| 国产一区二区高清| 久久亚洲精品中文字幕无码| 1024手机在线播放视频| 狠狠综合久久综合网站| 小宝贝浪货摸给我看| 亚洲精品视频在线播放| yy6080理aa级伦大片一级毛片|