BIO3 3軸納米位移平臺

bio3.100
bio3.200
bio3.300
運動范圍xyz（µm）
100
200
300
分辨率xyz（nm）
0,1
0,2
0,3
典型的噪聲基準xyz（nm）
0,01
0,02
0,03
全方位的重復性xyz（nm）
0,2
0,4
0,6
線性化（典型的）
0,02%
0,02%
0,02%
諧振頻率x / y / z（赫茲）
500/400/400
400/350/300
300/250/250
剛度x/y/z(n/µm)
0,6/0,5/0,5
0,5/0,4/0,4
0,4/0,3/0,3
最da負載（kg）-水平使用
1
1
1
最da負載（kg）-垂直使用
0,5
0,5
0,5
傳感器
siliconhrsensor
siliconhrsensor
siliconhrsensor
尺寸wxlxh(mm)
152,5x213x20,45
152,5x213x20,45
152,5x213x20,45
材料
alorinvar
al
al
電纜長度（m）
2
2
2
推jian控制器
standard
standard
standard