AP PF PLASMA電源維修等離子變頻電源

維修包括:pecvd、mocvd、ionimp,plasma的設(shè)備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、rpsc、chiller等。電源維修的時(shí)候,需要檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路,例如電源整流橋堆、開關(guān)管、高頻大功率整流管、浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等,然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常,如上述器件有損壞的情況我們則需要進(jìn)行更換器件。
等離子清洗機(jī)的原理是等離子體和材料表面進(jìn)行相互作用的過程,通過等離子體里面的各類活躍粒子撞擊材料表面,從而大大提高材料表面的性能。
等離子表面改性之后,其材料表面會(huì)變得更加粗糙,它讓材料表面發(fā)生了刻蝕,在一定程度上滿足了人們對材料表面的清洗要求。等離子清洗技術(shù)要比其他類型的清洗方式要更具優(yōu)勢,能夠大限度的滿足人們多元化的需求。
其次,經(jīng)過等離子表面清洗之后,材料表面就會(huì)更具有反應(yīng)性,在這個(gè)過程中,活粒子在撞擊材料表面之后,其分子間的化學(xué)鍵就會(huì)被打開,然后產(chǎn)生大量的大分子基,說白了這個(gè)過程就是讓材料表面更加潔凈,例如可提升玻璃表面的親水性。

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