NE-PE02 納恩科技2L真空等離子清洗活化機

ne-pe02是一款小型真空等離子處理系統，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量生產打樣。設備采用進口品牌高性能旋片真空泵快速產生一個小于1-2 pa的真空壓強，同時根據客戶工藝要求，對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體，采用進口高品質等離子發生器，使得通入的工藝氣體產生等離子體，并確保穩定產生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發生復雜的物理，化學反應，可以實現不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光。
ne-pe02 系統功能特點：
•耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置
•不銹鋼托盤設計，可調節托盤間距
•8k鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•數字高頻等離子發生器，產生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果
•直觀的觸摸屏，過程參數實時監控
•方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯鎖門或可移動的板
•兩個標準的浮子針閥流量控制器
序號
項目
型號規格
參數
1
等離子體發生器
功率
0-300w可調
抗輻射干擾高頻匹配器
自動阻抗匹配
頻率
40khz
2
真空反應腔室
腔體材質
進口 316 不銹鋼，軍工級密封
腔體容積
2l
電極數量
1 個鍍金鋁合金專用電極 + 1個不銹鋼托盤
腔體直徑（圓形）
100（w）×270（d）mm
有效處理范圍
80（w）*235(d)mm
絕緣陶瓷
進口高頻陶瓷
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器，0-500ml
氣路數量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氨氣，氫氣，四氟化碳等
4
真空測量
真空計
smc 真空計
5
抽氣系統
真空泵
飛越 8 m³/h
極限真空度
0.1pa
真空管路
不銹鋼管路+氣動閥門
6
控制系統
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設計等離子控制系統
7
場務條件
電源供應
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機參數
整機功率
1000w
外形尺寸
590mm(l)×450mm(w) ×465 mm(h)
重量
40kg