上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 40

kri 考夫曼離子源kdc 40上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 kri 考夫曼離子源kdc 40: 小型低成本直流柵極離子源. kdc 40 是 3cm 考夫曼型離子源升級(jí)款. 具有更大的柵極, 更堅(jiān)固, 可以配置自對準(zhǔn)第三層?xùn)艠O.離子源kdc 40 適用于所有的離子工藝, 例如預(yù)清洗, 表面改性, 輔助鍍膜, 濺射鍍膜, 離子蝕刻和沉積.離子源kdc 40 兼容惰性或活性氣體, 例如氧氣和氮?dú)? 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 120 ma.kri 考夫曼離子源kdc 40 技術(shù)參數(shù)
型號(hào)
kdc 40
陽極
dc 直流
陽極功率
100w
*大離子束流
>100ma
電壓
100-1200v
氣體
惰性和反應(yīng)氣體
進(jìn)氣流量
2-10sccm
壓力
<0.5m torr
離子光學(xué)(自對準(zhǔn))
optibeamtm
離子束直徑
4cm φ max
柵極
鉬和石墨
離子束形狀
聚焦, 平行, 散射
高度
16cm
直徑
9cm
kri 考夫曼離子源kdc 40 應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)R鍍和蒸發(fā)鍍膜 pc輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)ibad表面改性, 激活 sm離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) ibsd離子蝕刻 ibe
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論,請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東:羅先生臺(tái)灣伯東:王小姐
t: +86-21-5046-1322 t: +886-3-567-9508 ext 161
f: +86-21-5046-1490 f: +886-3-567-0049
m: +86 152-0195-1076 m: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有,翻拷必究!