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超純水是為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18 mω*cm，或接近18.3 mω*cm*限值（25℃）。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水 。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，超純水系統，質量難以保證.
精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，超純水設備，那么反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，超純水，則純化柱的壽命就會縮短。終結果是加大了超純水機的使用成本。 　所以，在實驗室超純水機的使用中，有以下方面的事情需要注意。
超純水設備工藝技術與傳統的蒸餾法相比較，超純水設備用反滲透法為基礎再聯合了i新電去離子(edi)技術的i新工藝具有明顯的優越性和*性.節能。主要有多級蒸餾、高壓分級蒸餾和離心凈化蒸餾幾種工藝。所有蒸餾方法均在120°c高溫狀態下進行，所以可以得到完全無菌的水。因此，運行當中能源的消耗相當大;同時因為溫度較高，所有設備組成部分必須耐受高溫沖擊，設備的造價及維護費用高昂。反滲透技術結合臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，超純水儀，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，*具競爭力。
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