福州氦質譜檢漏儀-博為光電(推薦商家)

年泄漏率大的標準漏孔,要注意經常校準。如果發現異常,要用外置漏孔校準。注意使用的環境。標準漏孔的生產、檢測,都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔,對溫度特別敏感。溫度每變化1℃,標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如,夏天,室溫達到30℃,這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數百帕左右,對檢測大系統和有大漏的工件很有益。自動化程度高:自動校準氦峰,自動調節零點,量程自動轉換,自動數據處理,可外接打印機。整機由微機控制,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。有些生產的檢漏儀,可采用干式泵,氦質譜檢漏儀,達到無油蒸氣的效果,為無油系統及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
正壓漏孔的校準
正壓漏孔校準裝置一般采用定容法和恒壓法兩種工作原理。在此基礎上又研究了累積比較法、標準氣體法、流量比較法、壓力比較法、質譜計法等各種方法,但都以定容法和恒壓法為基礎。1997年美國材料和測試學會“校準氣體參考漏孔的標準規范”。該規范毛細管—水柱位移法為恒壓法,氣體累積法為定容法。歐洲標準化1995年(centc138wfg/6n3rev3)也采用類似毛細管—水柱位移法。瑞士balzers公司在1995年建立了基于恒壓法的正壓漏孔的校準系統。我國是采用恒壓法測量,測量范圍10-7—10-5pam3/s。我們采用質譜比較法校準,準確數據由510所科委計量站提供。
真空漏孔用于正壓時,該漏孔的標定值要改變。正壓檢測漏率范圍10-3—10-8pam3/s是過渡流。過渡流的計算較復雜,如用真空漏孔替代正壓條件進行換算,工程應用上較為不便,因此必須正壓檢漏時用正壓標準漏孔做比較準。正壓漏孔在使用時,其供氣壓力氦氣濃度應一致。正壓漏孔的研究國內外起步均比較晚,但它已在大型燃料貯箱、運載火箭氫氧系統成功應用。但是正壓漏孔的制作、校準、應用與其氣流特性均需在實踐中進一步完善發展。
氦質譜檢漏儀的工作原理
氦質譜檢漏儀是根據質譜分析原理,以氦為示蹤氣體,對真空設備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統。
我們知道氣體在電子的轟擊下會產生帶電粒子,帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力,而在磁場的作用下將做圓周運動,而具有不同質荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質比分離,這門研究使不同質量的粒子在電磁場中運動并依質荷比進行分離的學科稱為質譜學。根據質譜學原理制成的儀器叫質譜儀。氦質譜檢漏儀是質譜儀器中的一種,將質譜儀用于檢漏技術是質譜儀在真空密封檢測技術中的重要應用。
檢漏的基本任務靠采取一些標準檢漏技術來完成,而采用哪種技術要根據被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統的性質來決定。
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