FOC 納米位移顯微物鏡鏡架

foc100
foc200
foc300
運動范圍（µm）
100
200
300
分辨率（nm）
0,1
0,2
0,3
典型的噪聲基準(zhǔn)（nm）
0,01
0,02
0,03
全范圍重復(fù)性（nm）
0,2
0,4
0,6
線性化（典型的）
0,02%
0,02%
0,02%
諧振頻率（hz)
500
350
250
剛度(n/µm)
0,6
0,4
0,3
最da負(fù)載（kg）-水平使用
0,5
0,5
0,5
最da負(fù)載（kg）-垂直使用
0,5
0,5
0,5
傳感器
siliconhrsensor
siliconhrsensor
siliconhrsensor
尺寸：wxlxh(mm)
53,6x64,2x34,50
53,6x64,2x34,50
53,6x64,2x34,50
材料
al
al
al
電纜長度（m）
2
2
2
推jian控制器
standard
standard
standard